2005 年开始，苏州独墅湖高教区陆续引进了中科大、东南大学、西安交通大学、南京大学、四川大学、武汉大学以及苏州大学等一批与纳米技术紧密的高校入驻 . 

2006 年，中科院、江苏省、苏州市共建中科院苏州纳米技术与仿生研究所，成为国内首个以纳米技术方向的中科院研究所 . 

2007 年，国家科技部、商务部与江苏省共同支持苏州工业园区承建“国家纳米技术国际创新园”，已基本形成纳米技术大学科技园雏形，自此拉开了苏州纳米技术大学科技园的建设步伐 . 

2008 年 4 月，依报苏州工业园区教育发展投资有限公司，成立苏州纳米技术大学科技园管理中心，负责纳米技术大学科技园的日常管理工作 . 

2010 年 6 月，苏州工业园区管委会决定批准苏州工业园区教育发展投资有限公司出资 3 000 万成立独立法人苏州纳米技术大学科技园管理公司，负责苏州纳米技术大学科技园的统一管理和协调 .

2010 年 8 月，通过江苏省省级大学科技园验收评估 . 

2010 年 8 月，提交 《 国家大学科技园认定申请报告 》 . 

2010 年 10 月，通过科技部、教育部现场验收评估 . 

2012 年 5 月，科技部、教育部公布 《 2011 年国家大学科技园评价结果 》 ，苏州纳米技术国家大学科技园在 86 家中排名第 21